參考周期：常規(guī)試驗(yàn)7-15工作日，加急試驗(yàn)5個工作日。

注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個人委托測試,望諒解(高校、研究所等性質(zhì)的個人除外)。

中析研究所始終以科學(xué)研究為首任，以客戶為中心，在嚴(yán)格的程序下開展檢測工作，為客戶提供產(chǎn)品檢測及質(zhì)量控制的解決方案，竭誠為廣大客戶提供正規(guī)科學(xué)的檢驗(yàn)檢測、研發(fā)分析服務(wù)。7-15個工作日出具掩膜版設(shè)備檢測報告，報告支持掃碼查詢真?zhèn)巍?/p>

檢測項(xiàng)目

分辨率檢測、尺寸檢測、對準(zhǔn)檢測、位置檢測、缺陷檢測、光學(xué)性能檢測、電學(xué)性能檢測、耐久性檢測、化學(xué)性能檢測。

檢測范圍

掩膜刻蝕設(shè)備、掩膜對準(zhǔn)設(shè)備、掩膜曝光設(shè)備、掩膜清洗設(shè)備、掩膜檢測設(shè)備、掩膜修復(fù)設(shè)備、掩膜貼合設(shè)備、掩膜測量設(shè)備。

相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)

GB/T 40577-2021集成電路制造設(shè)備術(shù)語

SJ/T 11516-2015薄膜晶體管(TFT)用掩模版規(guī)范

檢測儀器

光學(xué)顯微鏡、掃描電子顯微鏡、光學(xué)對準(zhǔn)儀、電子束對準(zhǔn)儀、光學(xué)測量儀、電阻計(jì)、電容計(jì)、熱循環(huán)測試設(shè)備、濕度測試設(shè)備、化學(xué)溶液浸泡測試設(shè)備。

檢測方法

尺寸測量：使用光學(xué)測量儀、掃描電子顯微鏡等設(shè)備對掩膜版的尺寸進(jìn)行測量，以確定其準(zhǔn)確性和一致性。

對準(zhǔn)檢測：使用光學(xué)對準(zhǔn)儀、電子束對準(zhǔn)儀等設(shè)備對掩膜版的位置進(jìn)行檢測和調(diào)整，以確保其與其他組件的對準(zhǔn)精度。

缺陷檢測：使用光學(xué)顯微鏡、掃描電子顯微鏡等設(shè)備對掩膜版進(jìn)行缺陷檢測，如表面缺陷、裂紋、污染等。

光學(xué)性能檢測：使用光譜儀、光強(qiáng)測量儀等設(shè)備對掩膜版的光學(xué)性能進(jìn)行檢測，如透射率、反射率等。

電學(xué)性能檢測：使用電阻計(jì)、電容計(jì)等設(shè)備對掩膜版的電學(xué)性能進(jìn)行檢測，如電阻值、電容值等。

耐久性檢測：使用熱循環(huán)測試設(shè)備、濕度測試設(shè)備等對掩膜版進(jìn)行耐久性測試，以評估其在不同環(huán)境條件下的穩(wěn)定性和壽命。

化學(xué)性能檢測：使用化學(xué)溶液浸泡測試設(shè)備等對掩膜版進(jìn)行化學(xué)性能測試，以評估其對不同化學(xué)物質(zhì)的耐受性和穩(wěn)定性。

中析儀器 資質(zhì)