參考周期：常規(guī)試驗(yàn)7-15工作日，加急試驗(yàn)5個(gè)工作日。

注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個(gè)人委托測(cè)試,望諒解(高校、研究所等性質(zhì)的個(gè)人除外)。

檢測(cè)項(xiàng)目

1.表面粗糙度分析：測(cè)量Ra值（0.01-10μm范圍），Rz最大高度偏差≤5%

2.曲率半徑精度：檢測(cè)半徑公差0.05mm（Φ5-200mm量程）

3.局部面形誤差：PV值≤λ/4（λ=632.8nm），RMS值≤λ/20

4.散射光分布：測(cè)量散射角0.1-85，光強(qiáng)分布均勻性≥95%

5.微缺陷密度：統(tǒng)計(jì)直徑≥0.5μm的劃痕/凹坑（密度≤3個(gè)/cm）

檢測(cè)范圍

1.光學(xué)鏡頭：包括球面/非球面透鏡、菲涅爾透鏡等

2.半導(dǎo)體晶圓：硅片、砷化鎵等基材表面

3.精密模具：注塑模具型腔表面（HRC50以上硬度材料）

4.MEMS器件：微機(jī)電系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)部件接觸面

5.鍍膜基板：ITO導(dǎo)電玻璃、AR增透膜基材等

檢測(cè)方法

1.白光干涉法：依據(jù)ISO25178-604進(jìn)行三維形貌重建

2.激光共聚焦法：按GB/T29557-2013執(zhí)行亞微米級(jí)缺陷掃描

3.相位偏移干涉術(shù)：采用ASTMF529-16標(biāo)準(zhǔn)計(jì)算波前畸變

4.散射光度法：參照ISO13696測(cè)量雙向反射分布函數(shù)

5.接觸式輪廓術(shù)：執(zhí)行GB/T6062-2009獲取二維輪廓數(shù)據(jù)

檢測(cè)設(shè)備

1.ZygoNewView9000：3D表面輪廓儀（垂直分辨率0.1nm）

2.MitutoyoSurftestSJ-410：接觸式粗糙度儀（行程800mm）

3.BrukerContourGT-X8：白光干涉顯微鏡（100x物鏡）

4.OlympusLEXTOLS5000：激光共聚焦顯微鏡（12000x放大）

5.TaylorHobsonPGIOptics：非接觸式面形測(cè)量?jī)x（Φ300mm量程）

6.KeyenceVR-6000：三維掃描測(cè)量系統(tǒng)（重復(fù)精度0.02μm）

7.JenoptikWaveline：數(shù)字波面干涉儀（λ/100精度）

8.NikonEclipseL200N：金相顯微鏡（微分干涉對(duì)比功能）

9.OptofluxFRTMicroProf：晶圓表面分析系統(tǒng)（300mm晶圓兼容）

10.PolytecMSA-600：微系統(tǒng)分析儀（振動(dòng)補(bǔ)償功能

北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所【簡(jiǎn)稱：中析研究所】

報(bào)告：可出具第三方檢測(cè)報(bào)告(電子版/紙質(zhì)版)。

檢測(cè)周期：7~15工作日，可加急。

資質(zhì)：旗下實(shí)驗(yàn)室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報(bào)告。

標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試：嚴(yán)格按國標(biāo)/行標(biāo)/企標(biāo)/國際標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)。

非標(biāo)測(cè)試：支持定制化試驗(yàn)方案。

售后：報(bào)告終身可查，工程師1v1服務(wù)。

中析儀器 資質(zhì)