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隔膜真空計檢測

2025-05-12 關(guān)鍵詞:隔膜真空計測試范圍,隔膜真空計測試案例,隔膜真空計測試周期 相關(guān):
隔膜真空計檢測

隔膜真空計檢測摘要:隔膜真空計檢測是評估真空測量設(shè)備性能的關(guān)鍵流程,涉及密封性、精度及穩(wěn)定性等核心指標(biāo)。本文依據(jù)ASTM、ISO及GB/T標(biāo)準(zhǔn)體系,系統(tǒng)闡述檢測項(xiàng)目、方法及設(shè)備選型要點(diǎn),重點(diǎn)解析真空度范圍(10??~103 Pa)、零點(diǎn)漂移(≤±0.5%FS/24h)等關(guān)鍵技術(shù)參數(shù),適用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜等工業(yè)場景的質(zhì)量控制需求。

參考周期:常規(guī)試驗(yàn)7-15工作日,加急試驗(yàn)5個工作日。

注意:因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個人委托測試,望諒解(高校、研究所等性質(zhì)的個人除外)。

檢測項(xiàng)目

1.真空度測量范圍:10??~10Pa線性度驗(yàn)證
2.零點(diǎn)漂移量:≤0.5%FS/24h(滿量程)
3.響應(yīng)時間:≤500ms(90%階躍響應(yīng))
4.溫度穩(wěn)定性:0.2%FS/℃(-20~60℃環(huán)境)
5.長期重復(fù)性:≤1%FS(連續(xù)工作1000小時)
6.過載恢復(fù)能力:150%量程壓力沖擊后精度保持

檢測范圍

1.金屬密封型隔膜真空計(316L不銹鋼腔體)
2.陶瓷傳感器式真空計(Al?O?基體)
3.MEMS微結(jié)構(gòu)真空計(硅基薄膜傳感器)
4.高溫型真空計(最高450℃工作環(huán)境)
5.防爆型真空計(ExiaIICT4認(rèn)證)
6.多通道陣列式真空測量系統(tǒng)

檢測方法

1.ASTME2971-22《靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置校準(zhǔn)規(guī)程》
2.ISO3567:2021《真空計與標(biāo)準(zhǔn)漏孔比對法》
3.GB/T3163-2020《熱傳導(dǎo)真空計校準(zhǔn)規(guī)范》
4.GB/T34874-2017《電容薄膜真空計檢定規(guī)程》
5.ISO1607-2:2020《分壓測量系統(tǒng)的動態(tài)測試法》
6.JJG692-2010《電容薄膜真空計檢定規(guī)程》

檢測設(shè)備

1.INFICONCDG025D:量程0.1~1000Torr,精度0.15%讀數(shù)
2.MKS925C系列:10??~1000Torr全量程自動校準(zhǔn)系統(tǒng)
3.EdwardsActiveGaugeTIC200:分子泵組動態(tài)測試平臺
4.LeyboldDIVAC0.1:10??~1100mbar標(biāo)準(zhǔn)參考傳感器
5.AgilentUHV-24P:超高真空校準(zhǔn)室(極限壓力510??Pa)
6.PfeifferVacuumTPG262:雙通道全量程測試儀
7.VarianHV-4B:四極質(zhì)譜聯(lián)用檢漏系統(tǒng)
8.CanonAnelvaMRG-1000:磁懸浮轉(zhuǎn)子規(guī)比對裝置
9.KurtJ.LeskerPDR2000:數(shù)字式壓力控制器(0.01%~100%FS調(diào)節(jié))
10.ShimadzuGCMS-QP2020NX:殘余氣體分析系統(tǒng)

北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所【簡稱:中析研究所】

報告:可出具第三方檢測報告(電子版/紙質(zhì)版)。

檢測周期:7~15工作日,可加急。

資質(zhì):旗下實(shí)驗(yàn)室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報告。

標(biāo)準(zhǔn)測試:嚴(yán)格按國標(biāo)/行標(biāo)/企標(biāo)/國際標(biāo)準(zhǔn)檢測。

非標(biāo)測試:支持定制化試驗(yàn)方案。

售后:報告終身可查,工程師1v1服務(wù)。

中析儀器 資質(zhì)

中析隔膜真空計檢測 - 由于篇幅有限,僅展示部分項(xiàng)目,如需咨詢詳細(xì)檢測項(xiàng)目,請咨詢在線工程師

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