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低真空檢測

2025-04-03 關(guān)鍵詞:低真空項(xiàng)目報(bào)價(jià),低真空測試機(jī)構(gòu),低真空測試范圍 相關(guān):
低真空檢測

低真空檢測摘要:低真空檢測是評(píng)估材料或系統(tǒng)在10^3Pa至10^-1Pa壓力范圍內(nèi)密封性及穩(wěn)定性的關(guān)鍵手段,廣泛應(yīng)用于航空航天、電子封裝及材料科學(xué)領(lǐng)域。核心檢測要點(diǎn)包括泄漏率量化、氣體成分分析及壓力動(dòng)態(tài)變化監(jiān)測,需結(jié)合國際標(biāo)準(zhǔn)與精密儀器確保數(shù)據(jù)可靠性。

參考周期:常規(guī)試驗(yàn)7-15工作日,加急試驗(yàn)5個(gè)工作日。

注意:因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個(gè)人委托測試,望諒解(高校、研究所等性質(zhì)的個(gè)人除外)。

檢測項(xiàng)目

1. 泄漏率檢測:測量范圍1×10^-6 Pa·m3/s至1×10^-3 Pa·m3/s(ASTM E493)

2. 壓力穩(wěn)定性測試:監(jiān)測10^-3 Pa至10^-1 Pa區(qū)間壓力波動(dòng)(ISO 3570)

3. 氣體成分分析:識(shí)別H?O、O?、N?等殘留氣體濃度(GB/T 31480)

4. 真空度維持時(shí)間:記錄系統(tǒng)從10^-2 Pa升至10^1 Pa所需時(shí)長(GB/T 3163)

5. 密封材料滲透率:評(píng)估橡膠/金屬密封件的氣體滲透系數(shù)(ISO 15105-1)

檢測范圍

1. 金屬密封件:法蘭接頭、真空閥門組件

2. 高分子材料薄膜:聚酰亞胺真空袋、氟橡膠密封圈

3. 真空電子器件:X射線管、光電倍增管

4. 半導(dǎo)體封裝材料:晶圓級(jí)封裝腔體、MEMS器件

5. 真空鍍膜設(shè)備組件:磁控濺射靶材室、蒸鍍腔體

檢測方法

1. ASTM E493-22:質(zhì)譜分析法測定系統(tǒng)總泄漏率

2. ISO 3570:2020:靜態(tài)升壓法評(píng)估真空系統(tǒng)密封性

3. GB/T 31480-2015:四極桿質(zhì)譜儀定量分析殘余氣體

4. GB/T 3163-2007:差壓法測量真空容器壓力維持能力

5. ISO 15105-1:2021:恒壓法測定聚合物薄膜透氣系數(shù)

檢測設(shè)備

1. Agilent Technologies MSD 5977B:四極桿質(zhì)譜儀(氣體成分分析)

2. INFICON UL1000 Fab:氦質(zhì)譜檢漏儀(靈敏度1×10^-12 Pa·m3/s)

3. Leybold PHOENIX L300i:渦輪分子泵組(極限真空5×10^-7 Pa)

4. MKS Instruments 925B:電容薄膜規(guī)(量程0.1 Pa至133 kPa)

5. Pfeiffer Vacuum HPT 200:熱陰極電離規(guī)(測量下限1×10^-8 Pa)

6. Edwards TIC-301:冷陰極電離計(jì)(快速響應(yīng)壓力監(jiān)測)

7. VACUU-BRAND DVR 5:數(shù)字式真空計(jì)(多通道數(shù)據(jù)采集)

8. Canon ANELVA MRH-2000:殘余氣體分析系統(tǒng)(全量程氣體識(shí)別)

9. Shimadzu GC-2030:氣相色譜儀(痕量氣體分離檢測)

10. Kurt J. Lesker KJLC 360i:復(fù)合真空校準(zhǔn)系統(tǒng)(動(dòng)態(tài)流量法校準(zhǔn))

北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所【簡稱:中析研究所】

報(bào)告:可出具第三方檢測報(bào)告(電子版/紙質(zhì)版)。

檢測周期:7~15工作日,可加急。

資質(zhì):旗下實(shí)驗(yàn)室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報(bào)告。

標(biāo)準(zhǔn)測試:嚴(yán)格按國標(biāo)/行標(biāo)/企標(biāo)/國際標(biāo)準(zhǔn)檢測。

非標(biāo)測試:支持定制化試驗(yàn)方案。

售后:報(bào)告終身可查,工程師1v1服務(wù)。

中析儀器 資質(zhì)

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