光學衍射光柵檢測摘要:光學衍射光柵檢測是確保其光學性能與制造精度的關鍵環(huán)節(jié),涵蓋周期精度、衍射效率、表面質量等核心參數(shù)。通過標準化方法評估光柵的線密度均勻性、基底材料特性及環(huán)境穩(wěn)定性,可有效保障其在光譜分析、激光系統(tǒng)等高精度領域的應用可靠性。本文依據(jù)ASTM、ISO及GB/T標準體系,系統(tǒng)闡述檢測技術要點與設備配置。
參考周期:常規(guī)試驗7-15工作日,加急試驗5個工作日。
注意:因業(yè)務調整,暫不接受個人委托測試,望諒解(高校、研究所等性質的個人除外)。
1. 光柵周期精度:測量實際刻線間距與設計值的偏差范圍(±0.1 nm)
2. 衍射效率分布:在指定波長(200-2000 nm)范圍內測試各級次衍射光強度比
3. 線密度均勻性:全口徑范圍內每毫米刻線數(shù)波動量(≤±0.05%)
4. 表面粗糙度:工作區(qū)Ra值(≤1 nm)與非工作區(qū)Ra值(≤5 nm)
5. 基底材料折射率:在溫度(20±1℃)下測定折射率均勻性(Δn≤5×10??)
1. 全息光柵:用于高分辨率光譜儀的核心分光元件
2. 刻劃光柵:金屬基底閃耀光柵,適用于高功率激光系統(tǒng)
3. 透射式衍射光柵:聚合物基材相位光柵
4. 反射式凹面光柵:天文光譜儀用曲面衍射元件
5. 光纖布拉格光柵:通信波段(1260-1625 nm)波長選擇器件
ASTM E903-2012 材料光譜反射率標準測試方法
ISO 10110-8:2020 光學元件表面質量評定規(guī)范
GB/T 13384-2008 光學零件技術要求與檢測方法
ISO 14999-4:2015 光學元件波前畸變測量規(guī)程
GB/T 15972.40-2021 光纖試驗方法-幾何參數(shù)
1. Zygo NewView 9000干涉儀:表面形貌測量(分辨率0.1 nm)
2. Bruker Contour Elite測輪廓儀:臺階高度測量(精度±0.5 nm)
3. Ocean Optics HR4000光譜儀:衍射效率測試(波長分辨率0.05 nm)
4. Keysight 5500原子力顯微鏡:納米級表面粗糙度分析
5. Renishaw inVia顯微拉曼系統(tǒng):材料應力分布檢測
6. Agilent Cary 7000分光光度計:全波段透/反射率測量
7. Mitutoyo CMM三坐標測量機:宏觀尺寸精度驗證(±0.1 μm)
8. Thorlabs PAX1000偏振分析儀:偏振相關損耗測試
9. Newport自動準直儀:角度定位精度校準(±1 arcsec)
10. HORIBA LabRAM HR Evolution:薄膜厚度與折射率測定
報告:可出具第三方檢測報告(電子版/紙質版)。
檢測周期:7~15工作日,可加急。
資質:旗下實驗室可出具CMA/CNAS資質報告。
標準測試:嚴格按國標/行標/企標/國際標準檢測。
非標測試:支持定制化試驗方案。
售后:報告終身可查,工程師1v1服務。
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