光學(xué)長(zhǎng)度檢測(cè)摘要:檢測(cè)項(xiàng)目1.線性尺寸測(cè)量:分辨率0.1μm~1μm,量程0.5mm~2000mm2.平面度誤差檢測(cè):精度0.5μm/m3.圓度/圓柱度測(cè)量:徑向偏差≤0.3μm4.表面粗糙度分析:Ra0.01μm~6.3μm5.螺紋參數(shù)測(cè)定:中徑誤差2μm檢測(cè)范圍1.金屬精密零件(軸承/齒輪/模具)2.光學(xué)元件(透鏡/棱鏡/濾光片)3.半導(dǎo)體晶圓及封裝基板4.高分子材料薄膜(厚度10μm~5mm)5.3D打印成型件(層厚精度5μm)檢測(cè)方法1.激光干涉法:ISO/TR230-11:20182.白光共焦法:ASTME254
參考周期:常規(guī)試驗(yàn)7-15工作日,加急試驗(yàn)5個(gè)工作日。
注意:因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個(gè)人委托測(cè)試,望諒解(高校、研究所等性質(zhì)的個(gè)人除外)。
1.線性尺寸測(cè)量:分辨率0.1μm~1μm,量程0.5mm~2000mm
2.平面度誤差檢測(cè):精度0.5μm/m
3.圓度/圓柱度測(cè)量:徑向偏差≤0.3μm
4.表面粗糙度分析:Ra0.01μm~6.3μm
5.螺紋參數(shù)測(cè)定:中徑誤差2μm
1.金屬精密零件(軸承/齒輪/模具)
2.光學(xué)元件(透鏡/棱鏡/濾光片)
3.半導(dǎo)體晶圓及封裝基板
4.高分子材料薄膜(厚度10μm~5mm)
5.3D打印成型件(層厚精度5μm)
1.激光干涉法:ISO/TR230-11:2018
2.白光共焦法:ASTME2544-11a(2021)
3.結(jié)構(gòu)光三維掃描:GB/T26100-2010
4.影像測(cè)量法:GB/T24762-2021
5.相位輪廓術(shù):ISO25178-604:2013
1.KeyenceLM-9000系列激光位移計(jì):非接觸式線掃描(0.05μm)
2.MitutoyoQV-Apex302影像儀:雙遠(yuǎn)心鏡頭(重復(fù)性0.8μm)
3.HexagonGlobalS三坐標(biāo)機(jī):接觸式探針(空間精度1.5+L/300μm)
4.ZygoNewView9000白光干涉儀:垂直分辨率0.1nm
5.RenishawXL-80激光干涉系統(tǒng):線性測(cè)量精度0.5ppm
6.OlympusLEXTOLS5000共聚焦顯微鏡:XY分辨率120nm
7.GOMATOSQ三維掃描儀:藍(lán)光相位測(cè)量(單幅精度8μm)
8.TaylorHobsonTalyrond585圓度儀:主軸精度0.025μm
9.BrukerContourGT-K光學(xué)輪廓儀:20X物鏡(橫向分辨率0.55μm)
10.NikonNEXIVVMZ-S3020視頻測(cè)量系統(tǒng):雙軸CNC控制(定位精度1μm)
報(bào)告:可出具第三方檢測(cè)報(bào)告(電子版/紙質(zhì)版)。
檢測(cè)周期:7~15工作日,可加急。
資質(zhì):旗下實(shí)驗(yàn)室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報(bào)告。
標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試:嚴(yán)格按國(guó)標(biāo)/行標(biāo)/企標(biāo)/國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)。
非標(biāo)測(cè)試:支持定制化試驗(yàn)方案。
售后:報(bào)告終身可查,工程師1v1服務(wù)。
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