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晶菜檢測(cè)

2025-05-19 關(guān)鍵詞:晶菜測(cè)試標(biāo)準(zhǔn),晶菜測(cè)試范圍,晶菜測(cè)試方法 相關(guān):
晶菜檢測(cè)

晶菜檢測(cè)摘要:檢測(cè)項(xiàng)目1.晶體結(jié)構(gòu)分析:X射線衍射(XRD)全譜掃描(2θ范圍5-90),晶格常數(shù)偏差≤0.0022.元素成分檢測(cè):X射線熒光光譜(XRF)定量分析(Na-U元素檢出限0.01%),ICP-MS痕量元素檢測(cè)(ppb級(jí)精度)3.位錯(cuò)密度測(cè)定:化學(xué)腐蝕法(KOH:NaOH=1:3混合液),腐蝕時(shí)間305s/μm4.表面粗糙度測(cè)試:白光干涉儀測(cè)量(Ra≤0.5nmRMS),掃描面積11mm5.熱穩(wěn)定性評(píng)估:TG-DSC同步熱分析(RT-1500℃,升溫速率10℃/min)檢測(cè)范圍1.半導(dǎo)體單晶材料:單晶硅(φ

參考周期:常規(guī)試驗(yàn)7-15工作日,加急試驗(yàn)5個(gè)工作日。

注意:因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個(gè)人委托測(cè)試,望諒解(高校、研究所等性質(zhì)的個(gè)人除外)。

檢測(cè)項(xiàng)目

1.晶體結(jié)構(gòu)分析:X射線衍射(XRD)全譜掃描(2θ范圍5-90),晶格常數(shù)偏差≤0.002

2.元素成分檢測(cè):X射線熒光光譜(XRF)定量分析(Na-U元素檢出限0.01%),ICP-MS痕量元素檢測(cè)(ppb級(jí)精度)

3.位錯(cuò)密度測(cè)定:化學(xué)腐蝕法(KOH:NaOH=1:3混合液),腐蝕時(shí)間305s/μm

4.表面粗糙度測(cè)試:白光干涉儀測(cè)量(Ra≤0.5nmRMS),掃描面積11mm

5.熱穩(wěn)定性評(píng)估:TG-DSC同步熱分析(RT-1500℃,升溫速率10℃/min)

檢測(cè)范圍

1.半導(dǎo)體單晶材料:單晶硅(φ300mm)、砷化鎵(4英寸)、碳化硅(6H/4H型)

2.光學(xué)晶體制品:氟化鈣透鏡(Φ50mm)、鈮酸鋰調(diào)制器(Z切型)、藍(lán)寶石窗口片

3.壓電晶體元件:石英諧振器(AT切角3515′5′)、鉭酸鋰換能器

4.人工合成晶體:CVD金剛石膜(厚度100-500μm)、水熱法合成α-Al?O?

5.晶體加工耗材:金剛石線鋸(Φ0.15mm)、CMP拋光液(SiO?粒徑50nm)

檢測(cè)方法

ASTME915-16殘余應(yīng)力X射線衍射測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)

ISO14707:2015輝光放電光譜表面分析通則

GB/T16594-2008微米級(jí)長度掃描電鏡測(cè)量方法

GB/T33324-2016激光散射法粒度分布測(cè)定

ISO20565-3:2008耐火材料XRF化學(xué)分析規(guī)程

檢測(cè)設(shè)備

1.PANalyticalX'Pert3PowderX射線衍射儀:配備Cu靶光源(λ=1.5406),測(cè)角儀精度0.0001

2.HitachiSU5000場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡:分辨率1.0nm@15kV,配備EDS能譜探頭

3.BrukerD8DISCOVERX射線應(yīng)力分析儀:Ψ角掃描范圍45,應(yīng)力測(cè)量精度20MPa

4.PerkinElmerNexION350DICP-MS:質(zhì)量數(shù)范圍3-300amu,檢出限<0.1ppt

5.ZygoNewView9000白光干涉儀:垂直分辨率0.1nm,最大掃描面積1010mm

6.NetzschSTA449F3同步熱分析儀:溫度精度0.1℃,TG分辨率0.1μg

7.MalvernMastersizer3000激光粒度儀:測(cè)量范圍0.01-3500μm,重復(fù)性誤差<0.5%

8.AgilentCary7000紫外可見分光光度計(jì):波長范圍175-1800nm,光度精度0.0003A

9.KeysightE4990A阻抗分析儀:頻率范圍20Hz-120MHz,基本精度0.045%

10.MitutoyoSJ-410表面粗糙度儀:行程長度17.5mm,Z軸分辨率0.01μm

北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所【簡稱:中析研究所】

報(bào)告:可出具第三方檢測(cè)報(bào)告(電子版/紙質(zhì)版)。

檢測(cè)周期:7~15工作日,可加急。

資質(zhì):旗下實(shí)驗(yàn)室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報(bào)告。

標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試:嚴(yán)格按國標(biāo)/行標(biāo)/企標(biāo)/國際標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)。

非標(biāo)測(cè)試:支持定制化試驗(yàn)方案。

售后:報(bào)告終身可查,工程師1v1服務(wù)。

中析儀器 資質(zhì)

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