參考周期：常規(guī)試驗(yàn)7-15工作日，加急試驗(yàn)5個(gè)工作日。

注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個(gè)人委托測試,望諒解(高校、研究所等性質(zhì)的個(gè)人除外)。

檢測項(xiàng)目

1.表面平整度偏差：測量范圍0.1λ（λ=632.8nm），分辨率0.001λ；
2.膜層厚度均勻性：測量精度0.5nm（厚度范圍50-5000nm）；
3.波前畸變分析：PV值≤λ/20（@632.8nm）；
4.折射率分布測定：精度0.0005（波長范圍400-1100nm）；
5.缺陷密度統(tǒng)計(jì)：可識(shí)別≥0.3μm的劃痕或顆粒缺陷。

檢測范圍

1.光學(xué)玻璃基板：包括熔融石英、BK7玻璃等精密光學(xué)元件；
2.半導(dǎo)體晶圓：硅片、砷化鎵等襯底表面形貌分析；
3.聚合物薄膜：PET、PI等柔性顯示基材的厚度均勻性檢測；
4.金屬鍍層：鋁、銀反射膜的膜厚一致性驗(yàn)證；
5.陶瓷基板：氮化鋁、氧化鋯等高溫器件的表面粗糙度評(píng)估。

檢測方法

1.ASTMF1048-18：采用菲索干涉法進(jìn)行表面形貌定量分析；
2.ISO14997-1:2017：規(guī)范光學(xué)元件缺陷的干涉成像評(píng)價(jià)流程；
3.GB/T24633.2-2020：基于白光干涉的薄膜厚度測量標(biāo)準(zhǔn)；
4.ISO10110-5:2017：光學(xué)元件表面不規(guī)則度干涉測試方法；
5.GB/T18833-2016：道路逆反射材料的干涉法折射率測定。

檢測設(shè)備

1.ZygoVerifireMST：四英寸口徑激光干涉儀（波長632.8nm），RMS重復(fù)性0.1nm；
2.BrukerContourGT-X3：白光干涉三維輪廓儀（垂直分辨率0.01nm）；
3.FilmetricsF20-UV：寬光譜膜厚測量系統(tǒng)（190-1700nm）；
4.TaylorHobsonCCIHD：非接觸式表面輪廓儀（橫向分辨率0.5μm）；
5.NikonNEXIVVMZ-S3020：激光共聚焦顯微鏡（最大放大倍率5000X）；
6.Keysight5500AFM：原子力顯微鏡（Z軸分辨率0.1nm）；
7.OlympusLEXTOLS5000：3D激光顯微鏡（12nmZ軸分辨率）；
8.VeecoNT9100：動(dòng)態(tài)干涉儀（支持300mm晶圓全自動(dòng)掃描）；
9.MitutoyoMF-U1000A：超精密輪廓儀（最大行程1000mm）；
10.HoribaSmart-SEP：橢偏儀（膜厚測量范圍1nm-100μm）。

北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所【簡稱：中析研究所】

報(bào)告：可出具第三方檢測報(bào)告(電子版/紙質(zhì)版)。

檢測周期：7~15工作日，可加急。

資質(zhì)：旗下實(shí)驗(yàn)室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報(bào)告。

標(biāo)準(zhǔn)測試：嚴(yán)格按國標(biāo)/行標(biāo)/企標(biāo)/國際標(biāo)準(zhǔn)檢測。

非標(biāo)測試：支持定制化試驗(yàn)方案。

售后：報(bào)告終身可查，工程師1v1服務(wù)。

中析儀器 資質(zhì)