參考周期：常規(guī)試驗7-15工作日，加急試驗5個工作日。

注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個人委托測試,望諒解(高校、研究所等性質(zhì)的個人除外)。

檢測項目

1.電子密度梯度測量：范圍110^16~110^20m^-3，分辨率5%
2.等離子體溫度分布：覆蓋300K~10^6K區(qū)間，誤差≤3%
3.磁場強(qiáng)度分析：0.1T~50T量程，精度0.01T
4.回波衰減系數(shù)：頻率范圍1GHz~110GHz
5.雜質(zhì)濃度檢測：最低檢出限0.01ppm（Ar基體）

檢測范圍

1.半導(dǎo)體晶圓表面等離子體處理層
2.核聚變裝置第一壁鎢基復(fù)合材料
3.航天器熱防護(hù)涂層（SiC/Si3N4體系）
4.醫(yī)療低溫等離子體滅菌設(shè)備反應(yīng)腔
5.高功率微波器件放電等離子體區(qū)

檢測方法

1.ASTME3025-18：微波反射法測定等離子體參數(shù)
2.ISO21438-3:2011電離層等離子體診斷規(guī)范
3.GB/T39271-2020低溫等離子體電子密度測試方法
4.IEC62855-2016核聚變裝置等離子體診斷系統(tǒng)要求
5.GB/T18989-2021X波段微波干涉測量規(guī)程

檢測設(shè)備

1.KeysightN5227BPNA微波網(wǎng)絡(luò)分析儀（10MHz~67GHz）
2.TektronixDPO7254C數(shù)字示波器（2.5GHz帶寬）
3.ImpedansLangmuir探針系統(tǒng)（Orion-3040型）
4.VarianCary7000紫外-可見分光光度計
5.Rohde&SchwarzFSW67信號分析儀（67GHz）
6.AmetekX射線能譜儀（X-SIGHT3D型）
7.Agilent8720ES矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀（20GHz）
8.PrincetonInstrumentsSP-2358單色儀（200-1100nm）
9.NationalInstrumentsPXIe-5668E矢量信號收發(fā)儀
10.FlukeTi450紅外熱像儀（640480分辨率）

北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所【簡稱：中析研究所】

報告：可出具第三方檢測報告(電子版/紙質(zhì)版)。

檢測周期：7~15工作日，可加急。

資質(zhì)：旗下實驗室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報告。

標(biāo)準(zhǔn)測試：嚴(yán)格按國標(biāo)/行標(biāo)/企標(biāo)/國際標(biāo)準(zhǔn)檢測。

非標(biāo)測試：支持定制化試驗方案。

售后：報告終身可查，工程師1v1服務(wù)。

中析儀器 資質(zhì)