參考周期：常規(guī)試驗7-15工作日，加急試驗5個工作日。

注意：因業(yè)務調(diào)整,暫不接受個人委托測試,望諒解(高校、研究所等性質(zhì)的個人除外)。

檢測項目

物理性能檢測：

• 密度測定：3.23g/cm3（參照ISO1183）
• 硬度測試：維氏硬度≥1000HV（GB/T4340.1）
• 熱膨脹系數(shù)：2.6×10??/K（ASTME228）

• 主元素分析：硅含量≥99.9999wt%（GB/T24582）
• 氧碳含量：氧≤1ppm、碳≤0.1ppm（ISO15349）

• 金屬雜質(zhì)：鐵≤0.01ppb、鋁≤0.05ppb（ASTMF1724）
• 有機雜質(zhì)：總烴類≤0.1ppm（參照SEMIMF1726）

• 電阻率：0.001-1000Ω·cm（±0.5%）（GB/T1551）
• 載流子濃度：1×101?-1×102?cm?3（ASTMF723）

• 透光率：≥90%@633nm（ISO13468）
• 反射率：≤10%（ASTME903）

• 粗糙度：Ra≤0.1μm（ISO4287）
• 缺陷密度：微裂紋≤5/cm2（SEMIM7）

• 晶格常數(shù)：5.43?（±0.001?）（ISO20203）
• 晶體取向：<100>偏差≤0.5°（GB/T12966）

• 總雜質(zhì)含量：≤1ppb（ASTMF1392）
• 硼磷濃度：硼≤0.01ppb、磷≤0.02ppb（ISO14706）

• 熱導率：150W/m·K（ASTME1461）
• 熔點測定：1414°C（±1°C）（GB/T14235）

• 抗彎強度：≥100MPa（ISO14704）
• 斷裂韌性：KIC≥1.0MPa·m1/2（ASTME399）

檢測范圍

1.單晶硅：用于半導體晶圓，檢測晶格缺陷及電阻率均勻性

2.多晶硅：光伏材料，側重雜質(zhì)分布及電學性能一致性

3.硅片：切割后產(chǎn)品，重點檢測表面完整性及厚度公差

4.硅粉：粉末形態(tài)，檢測粒徑分布（D50=10-100μm）及污染物殘留

5.硅錠：鑄造塊體，檢測內(nèi)部氣泡缺陷及熱應力裂紋

6.太陽能級硅：光伏應用材料，關注光生載流子壽命≥100μs

7.電子級硅：集成電路基材，檢測微污染（重金屬≤0.1ppb）

8.摻雜硅：含硼/磷摻雜劑，檢測摻雜濃度精度（±0.001%）

9.硅薄膜：涂層材料，厚度均勻性（±5nm）及附著強度

10.回收硅：再生材料，重金屬殘留（如鉛≤0.05ppm）及有機雜質(zhì)清除率

檢測方法

國際標準：

• ASTMF1724-18硅中金屬雜質(zhì)電感耦合等離子體質(zhì)譜法
• ISO14644-1:2015潔凈室懸浮粒子濃度測試
• SEMIMF1726-1109硅有機污染物氣相色譜分析

• GB/T24582-2009多晶硅化學分析方法
• GB/T1551-2021半導體硅單晶電阻率測試
• GB/T12966-2008硅晶體X射線衍射定向方法

檢測設備

1.電感耦合等離子體質(zhì)譜儀：型號ICP-MS-7900（檢測限0.001ppb，分辨率0.1amu）

2.傅里葉變換紅外光譜儀：型號FTIR-NEXUS（波數(shù)范圍400-4000cm?1，精度±0.01cm?1）

3.掃描電子顯微鏡：型號SEM-SU8000（分辨率1nm，加速電壓0.5-30kV）

4.原子力顯微鏡：型號AFM-Dimension（掃描范圍100μm×100μm，Z軸分辨率0.1nm）

5.四探針測試儀：型號Pro4-400（電阻率范圍0.001-1000Ω·cm，精度±0.2%）

6.X射線衍射儀：型號XRD-D8（角度范圍5-90°，精度±0.0001°）

7.氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀：型號GC-MS-7890（檢測限0.01ppm，柱溫范圍40-450°C）

8.激光粒度分析儀：型號LA-950（粒徑范圍0.01-3000μm，精度±1%）

9.差示掃描量熱儀：型號DSC-850（溫度范圍-150-600°C，靈敏度0.1μW）

10.表面輪廓儀：型號Profilometer-P7（粗糙度測量Ra0.001-100μm，精度±0.5%）

11.紫外-可見分光光度計：型號UV-2600（波長范圍190-900nm，帶寬0.1nm）

12.熱導率測定儀：型號TC-3000（測量范圍0.1-500W/m·K，誤差±1%）

13.力學試驗機：型號UTM-600（載荷0.01-100kN，應變速率0.001-500mm/min）

14.霍爾效應測試系統(tǒng)：型號HMS-5000（載流子濃度10?-1021cm?3，磁場范圍0-1.5T）

15.潔凈度粒子計數(shù)器：型號PC-200（粒徑通道0.1-10μm，流量28.3L/min）

北京中科光析科學技術研究所【簡稱：中析研究所】

報告：可出具第三方檢測報告(電子版/紙質(zhì)版)。

檢測周期：7~15工作日，可加急。

資質(zhì)：旗下實驗室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報告。

標準測試：嚴格按國標/行標/企標/國際標準檢測。

非標測試：支持定制化試驗方案。

售后：報告終身可查，工程師1v1服務。

中析儀器 資質(zhì)