參考周期：常規(guī)試驗7-15工作日，加急試驗5個工作日。

注意：因業(yè)務調整,暫不接受個人委托測試,望諒解(高校、研究所等性質的個人除外)。

檢測項目

厚度測量指標：

• 平均厚度：目標值±偏差（如1.0nm±0.1nm）
• 厚度均勻性：CV值≤0.05（參照ISO/TS80004-13）
• 層數(shù)一致性：單層或多層識別精度≥99%

• 表面粗糙度：Ra≤0.5nm（參照ASTME2865）
• 缺陷密度：孔洞或裂紋≤5個/μm2
• 臺階高度差：最大偏差±0.2nm

• 透射率：可見光波段≥97%（波長550nm）
• 反射率：≤2%（入射角60°）
• 消光系數(shù)：k值范圍0.001-0.01

• 電導率：≥10?S/m（常溫條件）
• 載流子遷移率：≥15000cm2/V·s
• 電阻均勻性：偏差≤5%

• 楊氏模量：≥1.0TPa（拉伸測試）
• 斷裂強度：≥130GPa
• 彎曲剛度：≤0.1N/m

• 碳純度：≥99.9wt%（雜質元素≤0.1wt%）
• 氧含量：≤0.5at%
• 氫吸附量：≤0.1monolayer

• 晶格缺陷：空位密度≤1011/cm2
• 邊界連續(xù)性：無斷裂區(qū)域≥95%
• 堆疊順序：AB或Bernal結構確認

• 熱導率：≥5000W/m·K
• 熱膨脹系數(shù)：≤-1×10??K?1
• 熱穩(wěn)定性：分解溫度≥600°C

• 薄膜粘附力：≥0.5J/m2（剝離測試）
• 界面結合強度：剪切力≥10MPa
• 基底兼容性：無分層現(xiàn)象

• 氧化穩(wěn)定性：空氣中保持率≥98%（24h）
• 濕度影響：厚度變化≤0.5%（RH90%）
• 溫度循環(huán)：-50°C至150°C無失效

檢測范圍

1.單層石墨烯薄膜：化學氣相沉積法制備，重點檢測厚度納米級精度和表面缺陷控制

2.多層石墨烯薄膜：疊層結構（2-10層），側重厚度均勻性和層間粘附強度評估

3.石墨烯透明導電薄膜：應用于顯示屏，核心檢測透光率與電導率平衡點

4.石墨烯屏障薄膜：封裝材料，重點評估厚度致密性和氣體滲透阻隔性能

5.石墨烯復合薄膜：聚合物基復合材料，檢測界面結合力和厚度分布一致性

6.石墨烯生物傳感器薄膜：醫(yī)療器件用，側重表面粗糙度對生物分子吸附的影響

7.石墨烯熱管理薄膜：散熱應用，核心檢測熱導率和厚度相關熱阻

8.石墨烯柔性電子薄膜：可穿戴設備，重點驗證彎曲下的厚度穩(wěn)定性和機械耐久性

9.石墨烯轉移薄膜：基底轉移工藝，檢測轉移后厚度損失和表面完整性

10.石墨烯涂層薄膜：防護涂層應用，評估厚度均勻性和環(huán)境腐蝕抵抗力

檢測方法

國際標準：

• ISO/TS80004-13:2017納米技術-石墨烯及相關材料厚度測量
• ASTME2865-12石墨烯薄膜表面形貌表征
• ISO14706:2014表面化學分析-原子力顯微鏡法
• ISO22493:2019微電子器件薄膜厚度測試

• GB/T35097-2018納米材料單層石墨烯厚度測量方法
• GB/T14233.1-2022醫(yī)療器械用薄膜類材料檢測
• GB/T17722-2021金屬覆蓋層厚度測試
• GB/T31981-2015光學薄膜特性測量

檢測設備

1.原子力顯微鏡：BrukerDimensionIcon（分辨率0.1nm，掃描范圍90μm）

2.光譜橢偏儀：J.A.WoollamM-2000（波長范圍190-1700nm，精度±0.01nm）

3.掃描電子顯微鏡：ZeissGeminiSEM500（放大倍數(shù)20-1000000X，分辨率0.8nm）

4.透射電子顯微鏡：FEITecnaiG2（加速電壓200kV，點分辨率0.19nm）

5.拉曼光譜儀：RenishawinVia（激光波長532nm，光譜分辨率1cm?1）

6.X射線光電子能譜儀：ThermoScientificK-Alpha（分析深度10nm，能量分辨率0.5eV）

7.表面輪廓儀：KLATencorP-17（垂直分辨率0.01nm，掃描速度1mm/s）

8.干涉顯微鏡：ZygoNewView9000（波長633nm，精度±0.1nm）

9.光學顯微鏡：OlympusBX53（放大倍數(shù)1000X，數(shù)碼相機分辨率5MP）

10.厚度計：FilmetricsF20（測量范圍0.1-350μm，重復性±0.1%）

11.電導率測量儀：Keithley2450（電流范圍1pA-1A，精度±0.05%）

12.熱導率測試儀：NetzschLFA467（溫度范圍-120°C至500°C，精度±3%）

13.萬能材料試驗機：Instron5944（載荷范圍0.02N-5kN，應變速率0.001-500mm/min）

14.環(huán)境測試箱：EspecSH-661（溫控范圍-70°C至150°C，濕度范圍10-98%RH）

15.粘附力測試儀：Dage4000（拉脫力范圍0.01-50kgf，精度±1%）

北京中科光析科學技術研究所【簡稱：中析研究所】

報告：可出具第三方檢測報告(電子版/紙質版)。

檢測周期：7~15工作日，可加急。

資質：旗下實驗室可出具CMA/CNAS資質報告。

標準測試：嚴格按國標/行標/企標/國際標準檢測。

非標測試：支持定制化試驗方案。

售后：報告終身可查，工程師1v1服務。

中析儀器 資質