參考周期：常規(guī)試驗7-15工作日，加急試驗5個工作日。

注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個人委托測試,望諒解(高校、研究所等性質(zhì)的個人除外)。

檢測項目

1.束流均勻性檢測：橫向分布偏差≤3%，縱向波動率＜1.5%

2.能量穩(wěn)定性測試：加速電壓波動范圍0.05kV（基準(zhǔn)值50kV）

3.真空系統(tǒng)效能：工作真空度≤510^-5Pa，泄漏率＜110^-9Pam³/s

4.冷卻系統(tǒng)效率：循環(huán)水溫差≤2℃（額定功率運行狀態(tài)下）

5.輻射泄漏監(jiān)測：屏蔽層外表面劑量率≤0.5μSv/h

檢測范圍

1.半導(dǎo)體晶圓離子注入層（硅基/碳化硅基）

2.金屬薄膜表面改性層（鈦/鋁/銅合金）

3.光學(xué)鍍膜器件（ZnSe/Ge紅外透鏡）

4.生物醫(yī)用高分子材料（聚醚醚酮/聚乙烯）

5.納米結(jié)構(gòu)復(fù)合材料（石墨烯/陶瓷基體）

檢測方法

1.ASTMF1467-18《帶電粒子束均勻性測試規(guī)程》

2.ISO21438-3:2011《電離輻射防護系統(tǒng)驗收規(guī)范》

3.GB/T12604.5-2020《無損檢測術(shù)語電子與離子束檢測》

4.GB/T26168.1-2018《電氣絕緣材料耐電痕化試驗方法》

5.ISO13341:2020《真空技術(shù)—泄漏率的測定》

檢測設(shè)備

1.FaradayCup束流分析儀（KEITHLEY237型，分辨率0.1nA）

2.四極質(zhì)譜儀（INFICONTranspectorCPM800，檢出限110^-12Torr）

3.高精度真空計（MKS925型，量程10^-9-1000Torr）

4.紅外熱像儀（FLIRT865，熱靈敏度＜20mK）

5.X-γ劑量率儀（ThermoFisherRadEyePRD-ER，量程0.01μSv/h-10Sv/h）

6.激光干涉儀（ZYGOVerifireMST，波長632.8nm）

7.數(shù)字示波器（KeysightDSOX6054A，帶寬6GHz）

8.循環(huán)水冷機組（LAUDAProlineRP1290，控溫精度

北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所【簡稱：中析研究所】

報告：可出具第三方檢測報告(電子版/紙質(zhì)版)。

檢測周期：7~15工作日，可加急。

資質(zhì)：旗下實驗室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報告。

標(biāo)準(zhǔn)測試：嚴(yán)格按國標(biāo)/行標(biāo)/企標(biāo)/國際標(biāo)準(zhǔn)檢測。

非標(biāo)測試：支持定制化試驗方案。

售后：報告終身可查，工程師1v1服務(wù)。

中析儀器 資質(zhì)