參考周期：常規(guī)試驗7-15工作日，加急試驗5個工作日。

注意：因業(yè)務調整,暫不接受個人委托測試,望諒解(高校、研究所等性質的個人除外)。

檢測項目

表面元素靈敏度分析（檢測參數(shù)：元素檢出限0.1-10 at.%）

化學態(tài)結合能測定（檢測參數(shù)：結合能范圍0-1500 eV，分辨率±0.2 eV）

深度剖面分析（檢測參數(shù)：濺射深度0-1000 nm，深度分辨率5 nm）

價帶結構表征（檢測參數(shù)：能量范圍-20至20 eV，步長0.05 eV）

污染物檢測（檢測參數(shù)：C/O污染層厚度1-50 nm，覆蓋度分析）

檢測范圍

金屬材料：鋁合金鈍化膜、不銹鋼氧化層、電鍍涂層

半導體材料：硅片表面摻雜、GaN外延層、ITO透明導電膜

高分子材料：聚合物表面改性層、光刻膠殘留物

陶瓷材料：氮化硅燒結體、壓電陶瓷界面

生物材料：鈦合金植入體表面處理、醫(yī)用高分子涂層

檢測方法

ASTM E2108：標準實踐-X射線光電子能譜表面分析

ISO 18118：表面化學分析-俄歇電子能譜和X射線光電子能譜

GB/T 19500：X射線光電子能譜分析方法通則

GB/T 17359：電子探針和掃描電鏡X射線能譜定量分析方法

ISO 15472：XPS儀器強度標定的標準方法

檢測設備

Thermo Scientific K-Alpha XPS：單色化Al Kα光源（1486.6 eV），空間分辨率≤30 μm，配備Ar+離子槍（0.1-4 keV）

ULVAC-PHI VersaProbe IV：多模式X射線源（Al/Mg雙陽極），深度剖析模式最小束斑10 μm

Kratos AXIS Supra：高傳輸能量分析器（能量分辨率<0.45 eV），集成紫外光電子能譜（UPS）模塊

SPECS FlexMod XPS：模塊化設計，配備SnapMap快速成像功能（像素尺寸5 μm）

JEOL JPS-9030：全自動樣品臺（5軸控制），支持高溫/低溫原位分析（-150℃至600℃）

北京中科光析科學技術研究所【簡稱：中析研究所】

報告：可出具第三方檢測報告(電子版/紙質版)。

檢測周期：7~15工作日，可加急。

資質：旗下實驗室可出具CMA/CNAS資質報告。

標準測試：嚴格按國標/行標/企標/國際標準檢測。

非標測試：支持定制化試驗方案。

售后：報告終身可查，工程師1v1服務。

中析儀器 資質