參考周期：常規(guī)試驗(yàn)7-15工作日，加急試驗(yàn)5個(gè)工作日。

注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個(gè)人委托測(cè)試,望諒解(高校、研究所等性質(zhì)的個(gè)人除外)。

檢測(cè)項(xiàng)目

載流子遷移率測(cè)定：范圍0.1-10^4 cm2/(V·s)，誤差≤±3%

基區(qū)寬度校準(zhǔn)：分辨率0.1nm，測(cè)量范圍50nm-5μm

摻雜濃度分析：檢測(cè)限1×10^14 atoms/cm3，精度±2%

溫度系數(shù)測(cè)試：溫控范圍-196℃~300℃，階躍精度±0.5℃

界面態(tài)密度表征：能量分辨率0.01eV，頻率范圍1kHz-1MHz

檢測(cè)范圍

半導(dǎo)體單晶材料：硅(Si)、鍺(Ge)、砷化鎵(GaAs)

異質(zhì)結(jié)雙極晶體管(HBT)

薄膜晶體管(TFT)基板材料

微波功率器件基區(qū)結(jié)構(gòu)

光電器件P型基區(qū)層

檢測(cè)方法

ASTM F42-20：霍爾效應(yīng)法測(cè)定載流子遷移率

ISO 14707:2015：二次離子質(zhì)譜(SIMS)分析摻雜分布

GB/T 1551-2021：半導(dǎo)體材料電阻率測(cè)試規(guī)范

IEC 60749-28:2020：瞬態(tài)電容法測(cè)界面態(tài)密度

JESD22-A104E：溫度循環(huán)加速壽命試驗(yàn)

檢測(cè)設(shè)備

Keysight B1500A半導(dǎo)體參數(shù)分析儀：支持DC-1MHz信號(hào)掃描，IV/CV/LF噪聲多參數(shù)集成

Thermo Fisher Scientific SIMS 4550：雙束離子槍系統(tǒng)，深度分辨率＜1nm

Veeco Dimension Icon原子力顯微鏡：峰值力輕敲模式，橫向分辨率0.2nm

Lake Shore CRX-4K探針臺(tái)：四軸精密定位，兼容150mm晶圓

Oxford Instruments OptistatCF低溫恒溫器：0.3K~500K連續(xù)變溫，磁場(chǎng)強(qiáng)度±8T

北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所【簡稱：中析研究所】

報(bào)告：可出具第三方檢測(cè)報(bào)告(電子版/紙質(zhì)版)。

檢測(cè)周期：7~15工作日，可加急。

資質(zhì)：旗下實(shí)驗(yàn)室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報(bào)告。

標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試：嚴(yán)格按國標(biāo)/行標(biāo)/企標(biāo)/國際標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)。

非標(biāo)測(cè)試：支持定制化試驗(yàn)方案。

售后：報(bào)告終身可查，工程師1v1服務(wù)。

中析儀器 資質(zhì)