參考周期：常規(guī)試驗7-15工作日，加急試驗5個工作日。

注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個人委托測試,望諒解(高校、研究所等性質(zhì)的個人除外)。

檢測項目

1.入射角度偏差：測量實際入射面與理論平面的角度誤差（0.05）
2.表面平整度：采用激光干涉法評估平面度（λ/20@632.8nm）
3.反射率均勻性：通過分光光度計測定反射率波動（≤1.5%）
4.邊緣直線度：使用影像測量系統(tǒng)量化邊緣偏離值（≤3μm/100mm）
5.涂層厚度一致性：白光干涉儀測量鍍膜厚度公差（5nm）

檢測范圍

1.光學玻璃基板：包括熔融石英、BK7等材質(zhì)制成的棱鏡與窗口片
2.金屬鍍膜材料：鋁、銀反射鏡及ITO導(dǎo)電薄膜
3.半導(dǎo)體晶圓：硅片、砷化鎵襯底的表面加工質(zhì)量
4.高分子薄膜：PET/PC材質(zhì)的偏振片與濾光膜
5.陶瓷基板：氮化鋁/氧化鋁封裝基板的平面特性

檢測方法

1.ASTME430-21：基于標準光源的反射率測試規(guī)范
2.ISO10110-5:2015：光學元件面形公差評定準則
3.GB/T1185-2006：光學零件面形偏差檢驗方法
4.ISO14978:2018：幾何量測量設(shè)備通用校準規(guī)范
5.GB/T1800.2-2020：產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范（GPS）基礎(chǔ)

檢測設(shè)備

1.ZygoVerifireHD激光干涉儀：面形精度λ/20，重復(fù)性＜0.5nm
2.MitutoyoCMM三坐標測量機：空間精度(0.8+L/600)μm
3.BrukerContourGT白光干涉儀：垂直分辨率0.1nm
4.OceanInsightHR4000光譜儀：波長范圍200-1100nm
5.KeyenceVHX-7000數(shù)碼顯微鏡：5000倍超景深觀測
6.PerkinElmerLambda1050分光光度計：反射率絕對精度0.08%
7.TaylorHobsonFormTalysurf輪廓儀：Ra測量范圍0.01-50μm
8.NikonNEXIVVM-500影像測量系統(tǒng)：雙遠心鏡頭畸變＜0.03%
9.MalvernPanalyticalMastersizer3000：粒度分析分辨率10nm
10.Agilent5500原子力顯微鏡：Z軸分辨率0.1nm

北京中科光析科學技術(shù)研究所【簡稱：中析研究所】

報告：可出具第三方檢測報告(電子版/紙質(zhì)版)。

檢測周期：7~15工作日，可加急。

資質(zhì)：旗下實驗室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報告。

標準測試：嚴格按國標/行標/企標/國際標準檢測。

非標測試：支持定制化試驗方案。

售后：報告終身可查，工程師1v1服務(wù)。

中析儀器 資質(zhì)