參考周期：常規(guī)試驗(yàn)7-15工作日，加急試驗(yàn)5個工作日。

注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個人委托測試,望諒解(高校、研究所等性質(zhì)的個人除外)。

檢測項(xiàng)目

真空密封性檢測：測試范圍1×10??~1000 Pa，允許泄漏率≤5×10?? mbar·L/s

氣體成分分析精度：覆蓋He/N?/Ar等氣體，分辨率達(dá)0.1 ppm

壓力響應(yīng)線性度：在10??~103 Pa量程內(nèi)誤差≤±1.5%FS

零點(diǎn)漂移穩(wěn)定性：8小時連續(xù)檢測漂移量＜0.05%量程

溫度影響系數(shù)：-20℃~60℃環(huán)境下壓力示值偏差＜0.3%/℃

檢測范圍

半導(dǎo)體制造用高純氣體輸送系統(tǒng)

航空航天領(lǐng)域艙體壓力調(diào)節(jié)裝置

真空鍍膜設(shè)備殘余氣體分析模塊

醫(yī)療滅菌設(shè)備壓力監(jiān)控單元

高能物理實(shí)驗(yàn)粒子加速器真空腔體

檢測方法

ASTM E296-17：靜態(tài)膨脹法測定低真空系統(tǒng)泄漏率

ISO 3567:2011：四極質(zhì)譜法進(jìn)行氣體分壓比測定

GB/T 34523-2017：電容薄膜規(guī)動態(tài)校準(zhǔn)技術(shù)規(guī)范

ASTM F1372-93(2021)：氦質(zhì)譜檢漏儀校準(zhǔn)規(guī)程

ISO 21360:2019：真空計(jì)參數(shù)測量與不確定度評定

檢測設(shè)備

Pfeiffer Vacuum CPR 265：雙通道質(zhì)譜分析儀，檢測限達(dá)5×10?1? mbar

Inficon SPD300：寬量程分壓傳感器，覆蓋1×10?1?~1000 mbar

Agilent 5977B MSD：高分辨率四極桿質(zhì)譜系統(tǒng)，質(zhì)量數(shù)范圍1-1000 amu

Varian CP-4900：微氣相色譜儀，柱溫控制精度±0.1℃

MKS Instruments Baratron 627D：電容式絕對壓力計(jì)，精度0.25%讀數(shù)

北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所【簡稱：中析研究所】

報(bào)告：可出具第三方檢測報(bào)告(電子版/紙質(zhì)版)。

檢測周期：7~15工作日，可加急。

資質(zhì)：旗下實(shí)驗(yàn)室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報(bào)告。

標(biāo)準(zhǔn)測試：嚴(yán)格按國標(biāo)/行標(biāo)/企標(biāo)/國際標(biāo)準(zhǔn)檢測。

非標(biāo)測試：支持定制化試驗(yàn)方案。

售后：報(bào)告終身可查，工程師1v1服務(wù)。

中析儀器 資質(zhì)