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分壓強(qiáng)計(jì)檢測

2025-03-18 關(guān)鍵詞:分壓強(qiáng)計(jì)測試周期,分壓強(qiáng)計(jì)測試標(biāo)準(zhǔn),分壓強(qiáng)計(jì)測試案例 相關(guān):
分壓強(qiáng)計(jì)檢測

分壓強(qiáng)計(jì)檢測摘要:分壓強(qiáng)計(jì)檢測是精密儀器校準(zhǔn)與性能驗(yàn)證的關(guān)鍵環(huán)節(jié),重點(diǎn)涵蓋密封性、壓力響應(yīng)精度及環(huán)境適應(yīng)性等核心參數(shù)。本文依據(jù)ASTM、ISO及GB/T標(biāo)準(zhǔn)體系,系統(tǒng)闡述檢測項(xiàng)目、適用材料、標(biāo)準(zhǔn)化方法及設(shè)備選型,為工業(yè)氣體分析、真空系統(tǒng)維護(hù)等領(lǐng)域提供技術(shù)依據(jù)。

參考周期:常規(guī)試驗(yàn)7-15工作日,加急試驗(yàn)5個工作日。

注意:因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個人委托測試,望諒解(高校、研究所等性質(zhì)的個人除外)。

檢測項(xiàng)目

真空密封性檢測:測試范圍1×10??~1000 Pa,允許泄漏率≤5×10?? mbar·L/s

氣體成分分析精度:覆蓋He/N?/Ar等氣體,分辨率達(dá)0.1 ppm

壓力響應(yīng)線性度:在10??~103 Pa量程內(nèi)誤差≤±1.5%FS

零點(diǎn)漂移穩(wěn)定性:8小時連續(xù)檢測漂移量<0.05%量程

溫度影響系數(shù):-20℃~60℃環(huán)境下壓力示值偏差<0.3%/℃

檢測范圍

半導(dǎo)體制造用高純氣體輸送系統(tǒng)

航空航天領(lǐng)域艙體壓力調(diào)節(jié)裝置

真空鍍膜設(shè)備殘余氣體分析模塊

醫(yī)療滅菌設(shè)備壓力監(jiān)控單元

高能物理實(shí)驗(yàn)粒子加速器真空腔體

檢測方法

ASTM E296-17:靜態(tài)膨脹法測定低真空系統(tǒng)泄漏率

ISO 3567:2011:四極質(zhì)譜法進(jìn)行氣體分壓比測定

GB/T 34523-2017:電容薄膜規(guī)動態(tài)校準(zhǔn)技術(shù)規(guī)范

ASTM F1372-93(2021):氦質(zhì)譜檢漏儀校準(zhǔn)規(guī)程

ISO 21360:2019:真空計(jì)參數(shù)測量與不確定度評定

檢測設(shè)備

Pfeiffer Vacuum CPR 265:雙通道質(zhì)譜分析儀,檢測限達(dá)5×10?1? mbar

Inficon SPD300:寬量程分壓傳感器,覆蓋1×10?1?~1000 mbar

Agilent 5977B MSD:高分辨率四極桿質(zhì)譜系統(tǒng),質(zhì)量數(shù)范圍1-1000 amu

Varian CP-4900:微氣相色譜儀,柱溫控制精度±0.1℃

MKS Instruments Baratron 627D:電容式絕對壓力計(jì),精度0.25%讀數(shù)

北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所【簡稱:中析研究所】

報(bào)告:可出具第三方檢測報(bào)告(電子版/紙質(zhì)版)。

檢測周期:7~15工作日,可加急。

資質(zhì):旗下實(shí)驗(yàn)室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報(bào)告。

標(biāo)準(zhǔn)測試:嚴(yán)格按國標(biāo)/行標(biāo)/企標(biāo)/國際標(biāo)準(zhǔn)檢測。

非標(biāo)測試:支持定制化試驗(yàn)方案。

售后:報(bào)告終身可查,工程師1v1服務(wù)。

中析儀器 資質(zhì)

中析分壓強(qiáng)計(jì)檢測 - 由于篇幅有限,僅展示部分項(xiàng)目,如需咨詢詳細(xì)檢測項(xiàng)目,請咨詢在線工程師

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