參考周期：常規(guī)試驗7-15工作日，加急試驗5個工作日。

注意：因業(yè)務調(diào)整,暫不接受個人委托測試,望諒解(高校、研究所等性質(zhì)的個人除外)。

檢測項目

1.層厚測量：采用橢圓偏振法（精度0.2nm）與X射線反射法（分辨率0.5nm），覆蓋1-500nm量程
2.成分分析：通過XPS（結(jié)合能分辨率0.1eV）與TOF-SIMS（質(zhì)量精度1ppm）表征元素/官能團分布
3.表面形貌：AFM掃描（橫向分辨率1nm）評估表面粗糙度（Ra≤0.5nm）及缺陷密度
4.界面結(jié)合力：劃痕試驗（載荷0-50N）與剝離試驗（速度1mm/min）量化附著力等級
5.熱力學性能：TGA-DSC聯(lián)用（升溫速率10℃/min）測定分解溫度（誤差2℃）與玻璃化轉(zhuǎn)變點

檢測范圍

1.納米涂層材料：光伏背板阻隔層、刀具類金剛石鍍膜
2.半導體器件：晶圓鈍化層（SiO?/Si?N?）、3DNAND存儲堆疊結(jié)構(gòu)
3.高分子薄膜：鋰電池隔膜陶瓷涂層、食品包裝阻氧復合膜
4.金屬鍍層：汽車板鋅鋁鎂合金鍍層、航空鈦合金熱障涂層
5.生物醫(yī)用材料：骨科植入物羥基磷灰石涂層、藥物緩釋微球包衣

檢測方法

1.ASTME284-17：標準顯微術(shù)術(shù)語規(guī)范表面形貌分析流程
2.ISO15472:2010：XPS儀器能量標定與靈敏度因子校準方法
3.GB/T17359-2023：微束分析電子能譜通用技術(shù)條件
4.ASTMD3359-23：膠帶法測試涂層附著力的分級標準
5.ISO11358-3:2022：塑料TGA曲線分解動力學分析方法
6.GB/T23443-2009：建筑涂層自清潔性能測試規(guī)范

檢測設備

1.HitachiSU5000場發(fā)射掃描電鏡：配備BrukerQuantaxEDS實現(xiàn)5nm分辨率元素面分布
2.ThermoScientificK-AlphaX射線光電子能譜儀：單色化AlKα源（1486.6eV），能量分辨率≤0.5eV
3.BrukerDimensionIcon原子力顯微鏡：峰值力輕敲模式支持液體環(huán)境原位測量
4.AntonPaarRevetestRST劃痕測試儀：最大載荷100N，聲發(fā)射信號同步采集界面失效點
5.NetzschSTA449F5同步熱分析儀：TG-DSC同步測量精度0.1μg/1μW
6.Agilent1260InfinityIIHPLC：配ELSD檢測器分析聚合物分子量分布（MWD≤1.05）
7.MalvernZetasizerNanoZSP：動態(tài)光散射測定膠體ζ電位（精度0.3mV）
8.ZeissAxioImager2金相顯微鏡：微分干涉對比成像解析50nm級層間裂紋

北京中科光析科學技術(shù)研究所【簡稱：中析研究所】

報告：可出具第三方檢測報告(電子版/紙質(zhì)版)。

檢測周期：7~15工作日，可加急。

資質(zhì)：旗下實驗室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報告。

標準測試：嚴格按國標/行標/企標/國際標準檢測。

非標測試：支持定制化試驗方案。

售后：報告終身可查，工程師1v1服務。

中析儀器 資質(zhì)