參考周期：常規(guī)試驗(yàn)7-15工作日，加急試驗(yàn)5個(gè)工作日。

注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個(gè)人委托測(cè)試,望諒解(高校、研究所等性質(zhì)的個(gè)人除外)。

檢測(cè)項(xiàng)目

1.平面度誤差：測(cè)量范圍0.005-0.5mm/m（依據(jù)ISO12781）
2.正交角度偏差：精度要求≤3"（按GB/T11336）
3.平行度誤差：允許公差0.01-0.1mm/m（參照ASMEB89.3.4）
4.線性位移精度：分辨率達(dá)0.1μm（基于ISO230-2）
5.熱變形補(bǔ)償：溫度控制0.5℃（執(zhí)行ASTME289）

檢測(cè)范圍

1.金屬結(jié)構(gòu)件：航空鋁合金框架/精密機(jī)床導(dǎo)軌
2.光學(xué)元件：投影光刻機(jī)反射鏡/激光諧振腔基板
3.復(fù)合材料：碳纖維衛(wèi)星支架/風(fēng)電葉片連接法蘭
4.電子器件：半導(dǎo)體晶圓載具/液晶面板玻璃基板
5.模具工具：注塑模具模板/壓鑄模導(dǎo)向機(jī)構(gòu)

檢測(cè)方法

1.激光干涉法：ASTME2035標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定波長(zhǎng)穩(wěn)定性632.8nm0.01nm
2.坐標(biāo)測(cè)量法：ISO10360-2標(biāo)準(zhǔn)要求空間精度(1.9+3L/1000)μm
3.數(shù)字圖像相關(guān)法：GB/T37286-2019設(shè)定采樣頻率≥50Hz
4.白光干涉術(shù)：ISO25178-604規(guī)定垂直分辨率0.1nm
5.機(jī)械探針?lè)ǎ篏B/T11337-2004限定測(cè)力范圍0.5-1.5N

檢測(cè)設(shè)備

1.三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)：MitutoyoCRYSTA-ApexS系列（空間精度1.2μm）
2.激光干涉儀：RenishawXL-80（線性測(cè)量精度0.5ppm）
3.數(shù)字圖像應(yīng)變儀：LaVisionStrainMaster（最高分辨率40963000px）
4.白光輪廓儀：BrukerContourGT-X8（垂直重復(fù)性0.01nm）
5.高精度測(cè)角儀：TaylorHobsonTalyrond585（角度分辨率0.01"）
6.熱變形測(cè)試系統(tǒng)：Instron8862（溫控范圍-70℃~300℃）
7.激光跟蹤儀：LeicaAT960（最大測(cè)量半徑160m）
8.光學(xué)平臺(tái)隔振系統(tǒng)：NewportRS4000（固有頻率≤1.5Hz）
9.納米位移臺(tái)：PIP-563.3CD（定位精度0.03μm）
10.X射線殘余應(yīng)力儀：ProtoiXRD（穿透深度50μm）

北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所【簡(jiǎn)稱(chēng)：中析研究所】

報(bào)告：可出具第三方檢測(cè)報(bào)告(電子版/紙質(zhì)版)。

檢測(cè)周期：7~15工作日，可加急。

資質(zhì)：旗下實(shí)驗(yàn)室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報(bào)告。

標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試：嚴(yán)格按國(guó)標(biāo)/行標(biāo)/企標(biāo)/國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)。

非標(biāo)測(cè)試：支持定制化試驗(yàn)方案。

售后：報(bào)告終身可查，工程師1v1服務(wù)。

中析儀器 資質(zhì)