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正交畸變檢測(cè)

2025-05-21 關(guān)鍵詞:正交畸變測(cè)試范圍,正交畸變測(cè)試機(jī)構(gòu),正交畸變測(cè)試周期 相關(guān):
正交畸變檢測(cè)

正交畸變檢測(cè)摘要:檢測(cè)項(xiàng)目1.平面度誤差:測(cè)量范圍0.005-0.5mm/m(依據(jù)ISO12781)2.正交角度偏差:精度要求≤3"(按GB/T11336)3.平行度誤差:允許公差0.01-0.1mm/m(參照ASMEB89.3.4)4.線性位移精度:分辨率達(dá)0.1μm(基于ISO230-2)5.熱變形補(bǔ)償:溫度控制0.5℃(執(zhí)行ASTME289)檢測(cè)范圍1.金屬結(jié)構(gòu)件:航空鋁合金框架/精密機(jī)床導(dǎo)軌2.光學(xué)元件:投影光刻機(jī)反射鏡/激光諧振腔基板3.復(fù)合材料:碳纖維衛(wèi)星支架/風(fēng)電葉片連接法蘭4.電子器件:半導(dǎo)體晶圓載具/液

參考周期:常規(guī)試驗(yàn)7-15工作日,加急試驗(yàn)5個(gè)工作日。

注意:因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個(gè)人委托測(cè)試,望諒解(高校、研究所等性質(zhì)的個(gè)人除外)。

檢測(cè)項(xiàng)目

1.平面度誤差:測(cè)量范圍0.005-0.5mm/m(依據(jù)ISO12781)
2.正交角度偏差:精度要求≤3"(按GB/T11336)
3.平行度誤差:允許公差0.01-0.1mm/m(參照ASMEB89.3.4)
4.線性位移精度:分辨率達(dá)0.1μm(基于ISO230-2)
5.熱變形補(bǔ)償:溫度控制0.5℃(執(zhí)行ASTME289)

檢測(cè)范圍

1.金屬結(jié)構(gòu)件:航空鋁合金框架/精密機(jī)床導(dǎo)軌
2.光學(xué)元件:投影光刻機(jī)反射鏡/激光諧振腔基板
3.復(fù)合材料:碳纖維衛(wèi)星支架/風(fēng)電葉片連接法蘭
4.電子器件:半導(dǎo)體晶圓載具/液晶面板玻璃基板
5.模具工具:注塑模具模板/壓鑄模導(dǎo)向機(jī)構(gòu)

檢測(cè)方法

1.激光干涉法:ASTME2035標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定波長(zhǎng)穩(wěn)定性632.8nm0.01nm
2.坐標(biāo)測(cè)量法:ISO10360-2標(biāo)準(zhǔn)要求空間精度(1.9+3L/1000)μm
3.數(shù)字圖像相關(guān)法:GB/T37286-2019設(shè)定采樣頻率≥50Hz
4.白光干涉術(shù):ISO25178-604規(guī)定垂直分辨率0.1nm
5.機(jī)械探針?lè)ǎ篏B/T11337-2004限定測(cè)力范圍0.5-1.5N

檢測(cè)設(shè)備

1.三坐標(biāo)測(cè)量機(jī):MitutoyoCRYSTA-ApexS系列(空間精度1.2μm)
2.激光干涉儀:RenishawXL-80(線性測(cè)量精度0.5ppm)
3.數(shù)字圖像應(yīng)變儀:LaVisionStrainMaster(最高分辨率40963000px)
4.白光輪廓儀:BrukerContourGT-X8(垂直重復(fù)性0.01nm)
5.高精度測(cè)角儀:TaylorHobsonTalyrond585(角度分辨率0.01")
6.熱變形測(cè)試系統(tǒng):Instron8862(溫控范圍-70℃~300℃)
7.激光跟蹤儀:LeicaAT960(最大測(cè)量半徑160m)
8.光學(xué)平臺(tái)隔振系統(tǒng):NewportRS4000(固有頻率≤1.5Hz)
9.納米位移臺(tái):PIP-563.3CD(定位精度0.03μm)
10.X射線殘余應(yīng)力儀:ProtoiXRD(穿透深度50μm)

北京中科光析科學(xué)技術(shù)研究所【簡(jiǎn)稱(chēng):中析研究所】

報(bào)告:可出具第三方檢測(cè)報(bào)告(電子版/紙質(zhì)版)。

檢測(cè)周期:7~15工作日,可加急。

資質(zhì):旗下實(shí)驗(yàn)室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報(bào)告。

標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試:嚴(yán)格按國(guó)標(biāo)/行標(biāo)/企標(biāo)/國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)。

非標(biāo)測(cè)試:支持定制化試驗(yàn)方案。

售后:報(bào)告終身可查,工程師1v1服務(wù)。

中析儀器 資質(zhì)

中析正交畸變檢測(cè) - 由于篇幅有限,僅展示部分項(xiàng)目,如需咨詢(xún)?cè)敿?xì)檢測(cè)項(xiàng)目,請(qǐng)咨詢(xún)?cè)诰€工程師

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