參考周期：常規(guī)試驗7-15工作日，加急試驗5個工作日。

注意：因業(yè)務(wù)調(diào)整,暫不接受個人委托測試,望諒解(高校、研究所等性質(zhì)的個人除外)。

檢測項目

1.表面平面度：測量范圍500μm，精度0.1μm/m
2.局部凹陷深度：分辨率0.05μm，最大測量深度2mm
3.表面粗糙度：Ra0.01-25μm，符合ISO4287標準
4.波紋度分析：波長范圍0.08-8mm，振幅分辨率0.02μm
5.微觀劃痕檢測：最小識別寬度0.5μm，深度分辨率10nm

檢測范圍

1.光學級藍寶石窗口片（厚度0.3-10mm）
2.半導體晶圓（直徑200-300mm）
3.精密軸承滾道表面（硬度HRC60以上）
4.航空鈦合金結(jié)構(gòu)件（表面鍍層厚度5-50μm）
5.MEMS器件微結(jié)構(gòu)（特征尺寸≥10μm）

檢測方法

1.白光干涉法：依據(jù)ISO25178-604進行三維形貌重建
2.激光共聚焦法：執(zhí)行GB/T34879-2017標準測量流程
3.相位偏移干涉術(shù)：符合ASTME2847-21測試規(guī)范
4.數(shù)字圖像相關(guān)法：參照ISO16063-42動態(tài)變形分析
5.原子力顯微術(shù)：滿足GB/T31227-2014納米級測量要求

檢測設(shè)備

1.ZYGOVerifireMST：波長632.8nm激光干涉儀，PV值測量精度λ/100
2.BrukerContourGT-X3：白光干涉三維輪廓儀，垂直分辨率0.1nm
3.KeyenceVR-5000：4K級工業(yè)顯微鏡系統(tǒng)，最大倍率5000X
4.MitutoyoSJ-410：接觸式粗糙度儀，符合JISB0659標準
5.OlympusLEXTOLS5000：激光共聚焦顯微鏡，Z軸重復性1nm
6.TaylorHobsonPGI1240：非接觸式輪廓儀，掃描速度100mm/s
7.ZeissSurfcom5000：全自動表面測量系統(tǒng)，最大行程200mm
8.NikonNEXIVVM-300S：視頻測量系統(tǒng)，定位精度1μm
9.AliconaInfiniteFocusG5：高景

北京中科光析科學技術(shù)研究所【簡稱：中析研究所】

報告：可出具第三方檢測報告(電子版/紙質(zhì)版)。

檢測周期：7~15工作日，可加急。

資質(zhì)：旗下實驗室可出具CMA/CNAS資質(zhì)報告。

標準測試：嚴格按國標/行標/企標/國際標準檢測。

非標測試：支持定制化試驗方案。

售后：報告終身可查，工程師1v1服務(wù)。

中析儀器 資質(zhì)